Technik

Verdampfung mit Schichtdickenbestimmung in einer Vakuumkammer

Teilnehmer:innen

Janosch Jacob (18)
Theresa Schweiker (19)
Robin Müller (17)

Schule/Institution/Betrieb

Ferdinand­-von-­Steinbeis-­Schule, Reutlingen

Projektbetreuung

Raphael Dannecker

Region

Staufen/Alb

Jahr

2023

Sparte

Jugend forscht

Wir haben eine universell einsetzbare Vakuumkammer gebaut, in der wir Aluminium verdampfen, um beispielsweise Spiegel herzustellen. Außerdem sind wir in der Lage die Dicke unserer aufgedampften Schichten mit Hilfe eines mit bedampften Schwingquarzes zu bestimmen. Da wir diesen während des Aufdampfprozesses auslesen, können wir das Schichtdickenwachstums unserer aufgedampften Schicht in Echtzeit verfolgen und bei Erreichen der gewünschten Schichtdicke den Prozess beenden. Vorteilhaft an unserem Verfahren ist das kostengünstige Bestimmen der aufgedampften Schichtdicke mittels eines konventionellen Schwingquarzes aus der Elektrotechnik und der Verwendung eines handelsüblichen Mikrocontrollers.

1. Preis Regionalwettbewerb Staufen/Alb

Wettbewerb 2024

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